半导体local scrubber介绍 随着半导体工业的快速发展，半导体制造过程中的污染问题日益严重。半导体local scrubber应运而生。local scrubber是一种用于去除半导体制造过程中产生的有害气体的设备。它在半导体工业中发挥着重要的作用，同时也是一个备受关注的话题。 背景信息 在半导体制造过程中，会产生大量的有害气体，如氟化氢、氯化氢、二氧化硅等。这些气体会对工人的健康造成威胁，同时也会对环境造成污染。需要一种设备来去除这些有害气体。这就是半导体local scrubbe